マイクロチャネル熱交換器部品用自動真空ボックス式ヘリウムリーク検出器（アクティブヘリウム洗浄機能および生産追跡機能付き）
本装置は、マイクロチャネル熱交換器部品の真空ボックスヘリウム質量スペクトル漏洩検出専用装置です。本装置は、排気システム、真空ボックス漏洩検出システム、ヘリウム洗浄システム、および電子制御システムで構成されています。本装置は、アクティブヘリウム洗浄機能を備えています。また、製品生産量、OK製品量、NG製品量を記録する機能も備えています。
| 検査対象工場の製品 | 4L |
| ワークピースの最大外形寸法 | 770mm×498×35mm |
| 真空チャンバーのサイズ | 長さ1100mm、奥行き650mm、高さ350mm |
| コンテンツ製品 | 250L |
| 真空ボックスの数 | 1 |
| 箱あたりのワークピース数 | 2 |
| ワークピースの搬入および搬出ボックスモード | 手動出入り式真空ボックス |
| ドアを開閉する | フリップカバータイプ |
| 大きな漏洩圧力 | 4.2MPa |
| ヘリウム充填圧力 | 3MPaは自動調整可能です |
| 漏水検知の精度 | 2 g / 年 (△P=1.5MPa、R22) |
| 真空ボックスの排気圧力 | 30pa |
| ヘリウムガス回収率 | 98% |
| 真空ボックス試験ステーション（二重ボックス） | 100秒/1箱（手動の積み込みと積み下ろし時間は除く）。箱の両側に2本の操作ホースがあり、 |
| 漏洩率制御設定値（He） | ユーザーは、表示画面上でパラメータグループを選択したり、自身のプロセス要件に応じてパラメータグループを変更したりできます。 |
| 対象地域 | 3140(長さ)×2500(幅)×2100(高さ)mm |
| デバイスの電源 | 三相交流 380V±10% 50Hz |
| 設置電力 | 20kW |
| 圧縮空気圧 | 0.5～0.6MPa |
| 露点 | -10℃ |
| 加圧ガス | 純度99.8%以上の窒素を含む圧縮空気、または露点が-40℃以下の圧縮空気。 |
| 加圧ガス圧 | 5.5MPa |