アクティブヘリウム洗浄および生産追跡機能を備えたマイクロチャネル熱交換器コンポーネント用の自動真空ボックスヘリウムリーク検出器
本機は、マイクロチャネル熱交換器部品の真空ボックス内ヘリウム質量スペクトルリーク検出専用機です。本機は、真空排気システム、真空ボックス内リーク検出システム、ヘリウム洗浄システム、電子制御システムで構成されています。また、アクティブヘリウム洗浄機能を備えており、製品生産数、OK製品数、NG製品数を記録する機能も備えています。
| 検査対象作品の製品 | 4L |
| ワークピースの最大外形寸法 | 770mm * 498 * 35mm |
| 真空チャンバーのサイズ | 1100（長さ）650（奥行き）350（高さ） |
| コンテンツ製品 | 250L |
| 真空ボックスの数 | 1 |
| 1箱あたりのワークピース数 | 2 |
| ワークピース入口および出口ボックスモード | 手動出入り式真空ボックス |
| ドアを開けたり閉めたりする | フリップカバータイプ |
| 大きな漏れ圧力 | 4.2MPa |
| ヘリウム充填圧力 | 3MPaは自動調整可能 |
| 漏れ検出の精度 | 2g /年（△P=1.5MPa、R22） |
| 真空ボックスの排気圧力 | 30pa |
| ヘリウムガス回収率 | 98% |
| 真空ボックステストステーション（ダブルボックス） | 100秒/箱（手動による積み込み・積み下ろし時間を除く）。箱の両側に2本のホースが接続されており、 |
| リークレート制御設定（He） | ユーザーは、独自のプロセス要件に応じて、表示画面上でパラメータ グループを選択したり、変更したりできます。 |
| カバーエリア | 3140(長さ）×2500(幅）×2100(高さ）mm |
| デバイスの電源 | 三相交流380V±10% 50Hz |
| 設置電力 | 20kW |
| 圧縮空気圧 | 0.5～0.6MPa |
| 露点 | -10℃ |
| 加圧ガス | 純度99.8%以上の窒素を含む圧縮空気または露点が-40℃以下の圧縮空気。 |
| 加圧ガス圧力 | 5.5MPa |